環球晶圓從製程設備改善著手,將綠色製造理念落實於日常生產環節。近期,公司針對長晶設備推動幫浦系統轉型,逐步以乾式幫浦(Dry Pump)取代傳統油式幫浦(Oil Pump),在提升能源使用效率的同時,亦減少油品使用與廢棄物產生,進一步提升製程的環境效益。
傳統油式幫浦透過油封方式運作,除運轉過程需使用油品外,亦須定期更換,伴隨相關維護及廢油處理需求。為進一步改善設備運轉所產生的能源與耗材使用,環球晶圓導入採無油設計的乾式幫浦,以無油運行機制取代傳統油封方式,在符合長晶製程運作需求的前提下,透過設備升級降低能源與資源消耗。
目前,本專案已於部分長晶設備完成導入。實際運行成果顯示,乾式幫浦在能源效率、廢棄物減量及設備維護等面向均帶來具體效益:
- 提升能源效率: 相較既有油式幫浦,每台長晶設備可降低約29%電力消耗,每年約可節省30,718度電。
- 減少耗材與廢棄物: 採無油設計,降低油品使用,每台設備每年約可減少0.11公噸廢油產生。
- 降低碳排放: 依台灣電力排碳係數估算,每台設備每年約可減少14.3公噸二氧化碳排放。
- 優化設備維護: 無需定期進行油品更換,有助於簡化相關維護作業,提升設備管理效率。
環球晶圓將持續評估製程優化與設備升級機會,透過具體改善措施提升能源與資源使用效率,持續深化綠色製造,朝低碳營運與永續發展目標邁進。