隨著全球面臨氣候變遷與資源永續的挑戰，綠色製造已成為產業發展的重要方向。在此背景下，環球晶圓持續深化綠色製造的推動，近日導入切片機斷線智能偵測系統。該系統可即時監測並預防異常情況，不僅促進細線化切片製程的開發順利推展，也有效降低事業廢棄物的產出，並減少碳排放，展現公司在智慧製造與永續發展雙軌並進的承諾。
為提升材料利用率、降低事業廢棄物產出，實現環境永續的目標，環球晶圓推動細線化切割技術，然而，在晶圓加工製程中，當切片機出現斷線情況時，常導致滾輪纏線溝變形，進而造成晶棒報廢與原物料浪費，傳統機械式感測器在細線化切割時，可能面臨靈敏度不足的困境，無法在斷線發生的第一時間精準偵測並停機，電流式的感測裝置也會受到高含水載劑影響靈敏度，使斷線偵測效果不彰。
環球晶圓此次導入智能斷線偵測系統，在既有偵測機制基礎上增設聲發射感測器，能透過音頻進行即時監測，迅速辨識斷線事件並即刻啟動機台反應機制，大幅縮短反應時間。此技術成功解決了傳統感測器靈敏度不足的問題，顯著降低晶棒損失與設備損害，進一步實現減廢與減碳的目標。
本專案導入後展現三大效益：
- 報廢減少：斷線後可救回產品比例由 20% 提升至 80%，顯著減少矽晶圓報廢與資源浪費。
- 廢棄物歸零：多線切割站過去每月平均產出 13.3 公噸切削油廢液，導入細線化切割後，現已降為0產出。
- 碳排放減量：每年可減少 19.6 公噸碳排放。
此系統不僅提升製程穩定性與可靠性，更有效降低資源浪費並帶來環境效益，體現環球晶圓在智慧製造與永續發展雙軌並進的承諾。