拡散ウェーハ
Integrity Professional Teamwork Innovation
拡散ウェーハ
プロセス制御により、熱処理によりウェーハ表面から特定の深さと密度にさまざまな化学的性質を拡散させます。
当社の拡散ウェーハは、優れた品質により自動車のサプライチェーンで認定されています。
| Diameter | 3"~6" |
|---|---|
| Crystal | CZ, MCZ, FZ, NTD |
| Dopant | Ph, B |
| Orientation | <100>, <111> |
| Raw Wafer Resistivity | 10-3 ~ 10+3 |
| Thickness | 200 ~ 1200µm |