製品
シリコン単結晶インコット
シリコンウェハ
 
拡散ウェハ
ディープ拡散ウェハ
ポリシュッドウェハ
エピタキシャルウェハ (グロビテック)
アニールウェハー, エピタキシャルウェハ (グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社)
 
製造工程
優勢
シリコンインコット
シリコンウェハ
エピタキシャルウェハ
   
連絡窓口

As-Cutウェハ、ラッピングウェハ、エッチングウェハ


As-Cut ウェハ
ブロック切断したインゴットをスライシングして As-Cut ウェハになる。当社製品は厚さ、 TTV 、湾曲度、反りが良くて、顧客側の後工程に高品質且つ経済的なシリコン基板となる。

   
ラップウェハ
As-Cut ウェハを機械研磨(ラッピング)してラップウェハになる。 As-Cut ウェハ表面の粗さ及び加工歪層のバラツキ、またウェハ形状を研磨により矯正する。

当社のラップウェハはダイオードに多く使われ、世界各地の顧客に採用されている。
   
エッチングウェハ
ラップウェハを酸系またはアルカ系リエッチング工程加工して、エッチングウェハになる。ウェハ表面に残留する粗さと加工歪層を除去し、ダイオード用の製品によりいい選択となる。
   


環球晶圓株式会社
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